MEMSデバイス徹底入門 「つかう」「わかる」「つくる」マイクロマシン・センサ [ 三田　吉郎 ]

「つかう」「わかる」「つくる」マイクロマシン・センサ 三田　吉郎 日刊工業新聞社メムスデバイステッテイニュウモン ミタ　ヨシオ 発行年月：2018年08月29日 予約締切日：2018年07月20日 ページ数：192p サイズ：単行本 ISBN：9784526078712 三田吉郎（ミタヨシオ） 東京大学大学院工学系研究科電気工学専攻准教授。文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム微細加工プラットフォーム。東京大学VDEC「超微細リソグラフィー・ナノ計測拠点」マネージャ。1972年広島県呉市生まれ。1991年広島大学附属高等学校卒業。1995年東京大学工学部電子工学科卒業、学士。1997年東京大学大学院工学系研究科電気工学専攻卒業、修士。2000年東京大学大学院工学系研究科電気工学専攻卒業、博士（工学）。2000年東京大学大規模集積システム設計教育研究センター（VDEC）助手。2001年東京大学大学院工学系研究科電気工学専攻講師。2005年同助教授（2007年准教授へ呼称変更）。2001年〜大規模集積システム設計教育研究センター協力教員（クリーンルーム大型共用装置担当）。1997〜1998年フランス国立科学研究センター（CNRS）准研究員。2007〜2008年フランス国立情報学研究所（INRIA）招聘教授。2016〜2017年宇宙航空研究開発機構（JAXA）客員准教授。受賞：2000年丹羽記念賞、2013年（第1回）東京大学工学部Best　Teaching　Award。所属学会：電気学会、電子情報通信学会、応用物理学会、IEEE。資格：電話級・電信級・第二級・第一級アマチュア無線技士（JF4CZJ／1）、家庭電気初級修理技士。東京大学担当講義：電気磁気学、電子回路2、電子情報機器学、全学体験ゼミナール「マイクロマシンを作ろう」、総合科目「わかる電子回路」ほか（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです） 第1章　MEMSを“つかう”（電子情報機器の用途ーどこでもMEMSの時代／電子情報機器の仕組みー入力と、情報処理と、出力をもつ電子回路／百聞は一見に如かず1ー秋葉原で買ったMEMS大集合　ほか）／第2章　MEMSを“わかる”（百聞は一見に如かず2ーばね＋マス＝MEMS構造を理解する／MEMSが加速度を感じる仕組みーマスとばねとの力の釣り合い／重なり変化で変位を検知ーくし歯静電容量による読み出しの原理　ほか）／第3章　MEMSを“つくる”（百聞は一見に如かず4ー「実験用MEMS」で見るMEMS構造と製法／フォトリソグラフィ大研究ーMEMSは「積んで、リソして、削って」作る／パターンを転写してMEMSを形作るーDeep　RIE　ほか） これは、ただの解説本ではない！豊富な実験例と平易な文章でスキルと知識が自然と身に付く、初心者からベテランまで必携の一冊！ 本 科学・技術 工学 機械工学